Etstechnieken

Het klikte wonderbaarlijk tussen de beide mannen, en uit die ontmoeting groeide een levenslange hechte vriendschap en een uitgebreide correspondentie over hun experimenten met de verschillende etstechnieken.

Prof. dr. M. E. Elwenspoek van de Universiteit Twente krijgt de prijs voor zijn werk op het gebied van etstechnieken voor het maken van driedimensionale structuren in silicium.