Bekijk voorbeeldzinnen en woordvormen van Immersielithografie.

Immersielithografie

Voorbeeldzinnen (3)

De A13 is met een geoptimaliseerde immersielithografie geproduceerd (DUV met multi-patterning) - genaamd het N7P-proces.

De inzet van de huidige 193nm-immersielithografie wordt vanaf 7nm te duur en tijdrovend.

Resultaten Met immersielithografie kan de lijnafstand op de wafer worden teruggebracht tot 36,5 nanometer.