Opdampproces

Opdampproces geschikt voor een lagere temperatuur.

Opdampproces onder hoge temperatuur.

Chemical Vapor Deposition (CVD) (letterlijk vertaald “chemische dampdepositie”) is een chemisch opdampproces waarbij een dunne laag materiaal op een substraat (ondergrond) wordt aangebracht.

Opdampproces waarbij het opgedampte materiaal gebaseerd is op metaal-organische verbindingen.

Opdampproces gelijk aan het PECVD proces waarbij het substraat niet in direct contact met de plasma-reactiekamer staat.